设备分类编码: 010303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [化学工程]

仪器设备来源: 其它

联系电话: 4001185171

电子邮箱: weihongh@shnu.edu.cn

通讯地址: 上海市徐汇区桂林路100号

邮政编码: 200237

联系人: 胡卫红

仪器所属类别: 分析仪器>>X射线仪器>>X射线能谱仪

规格型号: PH1500C

所属科研设施:

主要功能: 分析样品近表面（5nm）和本体的元素组成，化学态。对多种价态元素，可以自动分峰拟合，并给出不同价态之间的原子比。可进行最小10μm范围的微区分析。

主要技术指标: 1.能够以10μm的空间分辨率对半导体、金属和树脂等各种材料进行定点表面分析。2.通过Ar离子枪，可以实现表面深度超过10 nm的元素组成和化学结合状态进行分析。3.可以分析元素组成随扫描深度的变化关系。4.最低能量扫描进度可以达到0.025 eV，元素含量分析最低值为千分之五。

安放地址: 上海市上海市徐汇区桂林路100号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 400-1500